Семицера представља висококвалитетан обичајконзолне лопатице од силицијум карбиданаправљен да унапреди производне процесе полупроводника. ИновативноСиЦ веслодизајн обезбеђује изузетну издржљивост и високу топлотну отпорност, што га чини основном компонентом за руковање плочицама у изазовним окружењима са високим температурама.
ТхеВесло од силицијум карбидаје направљен да издржи екстремне термичке циклусе уз одржавање структуралног интегритета, обезбеђујући поуздан транспорт плочица током критичних фаза производње полупроводника. Са супериорном механичком чврстоћом, овочамац за наполитанкеминимизира ризик од оштећења вафла, што доводи до већих приноса и константног квалитета производње.
Једна од кључних иновација у Семицерином СиЦ веслу лежи у опцијама прилагођеног дизајна. Скројен да задовољи специфичне производне потребе, весло нуди флексибилност у интеграцији са различитим поставкама опреме, што га чини идеалним решењем за модерне процесе производње. Лагана, али робусна конструкција омогућава лако руковање и смањује време застоја у раду, доприносећи побољшаној ефикасности у производњи полупроводника.
Поред својих термичких и механичких својстава,Весло од силицијум карбидануди одличну хемијску отпорност, омогућавајући му да поуздано ради чак иу тешким хемијским окружењима. Ово га чини посебно погодним за употребу у процесима који укључују јеткање, таложење и третман на високој температури, где је одржавање интегритета чамца за плочице кључно за обезбеђивање висококвалитетних резултата.
Физичка својства рекристализованог силицијум карбида | |
Имовина | Типична вредност |
Радна температура (°Ц) | 1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина) |
Садржај СиЦ | > 99,96% |
Бесплатан садржај Си | < 0,1% |
Насипна густина | 2,60-2,70 г/цм3 |
Привидна порозност | < 16% |
Снага компресије | > 600 МПа |
Чврстоћа на хладно савијање | 80-90 МПа (20°Ц) |
Чврстоћа на топло савијање | 90-100 МПа (1400°Ц) |
Топлотна експанзија @1500°Ц | 4,70 10-6/°Ц |
Топлотна проводљивост @1200°Ц | 23 В/м•К |
Модул еластичности | 240 ГПа |
Отпорност на топлотни удар | Изузетно добро |