Рука за руковање плочицамаје кључна опрема која се користи у процесу производње полупроводника за руковање, пренос и позиционирањенаполитанке. Обично се састоји од роботске руке, хватаљке и контролног система, са могућностима прецизног кретања и позиционирања.Руке за руковање плочицамасе широко користе у различитим везама у производњи полупроводника, укључујући процесне кораке као што су пуњење плочице, чишћење, таложење танког филма, нагризање, литографија и инспекција. Његова прецизност, поузданост и могућности аутоматизације су од суштинског значаја за обезбеђивање квалитета, ефикасности и доследности производног процеса.
Главне функције руке за руковање плочицама укључују:
1. Пренос облатни: Рука за руковање плочицама је у стању да прецизно преноси облатне са једне локације на другу, као што је узимање вафла са полице за складиштење и њихово постављање у уређај за обраду.
2. Позиционирање и оријентација: Рука за руковање плочице је у стању да прецизно позиционира и оријентише плочицу како би се обезбедило исправно поравнање и положај за накнадну обраду или операције мерења.
3. Стезање и отпуштање: Руке за руковање плочицама обично су опремљене хватаљкама које могу безбедно стегнути плочице и отпустити их када је потребно да би се обезбедио сигуран пренос и руковање плочицама.
4. Аутоматска контрола: Рука за руковање плочицама је опремљена напредним контролним системом који може аутоматски извршити унапред одређене секвенце акција, побољшати ефикасност производње и смањити људске грешке.
Карактеристике и предности
1. Прецизне димензије и термичка стабилност.
2. Висока специфична крутост и одлична термичка униформност, дуготрајна употреба није лако савијати деформацију.
3. Има глатку површину и добру отпорност на хабање, тако да безбедно рукује чипом без контаминације честицама.
4. Отпорност силицијум карбида у 106-108Ω, немагнетна, у складу са захтевима спецификације анти-ЕСД; Може спречити накупљање статичког електрицитета на површини чипа.
5.Добра топлотна проводљивост, низак коефицијент експанзије.
