МЕМС обрада - лепљење: примена и перформансе у индустрији полупроводника, Семицера прилагођена услуга
У индустрији микроелектронике и полупроводника, МЕМС (микроелектромеханички системи) технологија је постала једна од основних технологија које покрећу иновације и опрему високих перформанси. Са напретком науке и технологије, МЕМС технологија се широко користи у сензорима, актуаторима, оптичким уређајима, медицинској опреми, аутомобилској електроници и другим областима, и постепено је постала неизоставни део савремене технологије. У овим областима, процес везивања (Бондинг), као кључни корак у МЕМС обради, игра виталну улогу у перформансама и поузданости уређаја.
Везивање је технологија која чврсто комбинује два или више материјала физичким или хемијским средствима. Обично, различити слојеви материјала морају бити повезани спајањем у МЕМС уређајима да би се постигао структурални интегритет и функционална реализација. У процесу производње МЕМС уређаја, везивање није само процес повезивања, већ директно утиче на термичку стабилност, механичку чврстоћу, електричне перформансе и друге аспекте уређаја.
У високо-прецизној МЕМС обради, технологија везивања треба да обезбеди блиску везу између материјала истовремено избегавајући било какве дефекте који утичу на перформансе уређаја. Због тога су прецизна контрола процеса лепљења и висококвалитетни материјали за везивање кључни фактори да се осигура да финални производ испуњава индустријске стандарде.
Примене МЕМС везивања у индустрији полупроводника
У индустрији полупроводника, МЕМС технологија се широко користи у производњи микро уређаја као што су сензори, акцелерометри, сензори притиска и жироскопи. Са све већом потражњом за минијатуризованим, интегрисаним и интелигентним производима, повећавају се и захтеви за прецизношћу и перформансама МЕМС уређаја. У овим апликацијама, технологија везивања се користи за повезивање различитих материјала као што су силицијумске плочице, стакло, метали и полимери да би се постигле ефикасне и стабилне функције.
1. Сензори притиска и акцелерометри
У области аутомобила, ваздухопловства, потрошачке електронике, итд., МЕМС сензори притиска и акцелерометри се широко користе у системима мерења и управљања. Процес везивања се користи за повезивање силицијумских чипова и сензорских елемената како би се осигурала висока осетљивост и тачност. Ови сензори морају бити у стању да издрже екстремне услове околине, а висококвалитетни процеси везивања могу ефикасно спречити материјале од одвајања или неисправног функционисања услед температурних промена.
2. Микрооптички уређаји и МЕМС оптички прекидачи
У области оптичких комуникација и ласерских уређаја, МЕМС оптички уређаји и оптички прекидачи играју важну улогу. Технологија везивања се користи за постизање прецизне везе између МЕМС уређаја на бази силицијума и материјала као што су оптичка влакна и огледала како би се осигурала ефикасност и стабилност преноса оптичког сигнала. Посебно у апликацијама са високом фреквенцијом, широким пропусним опсегом и преносом на велике удаљености, технологија лепљења високих перформанси је кључна.
3. МЕМС жироскопи и инерцијални сензори
МЕМС жироскопи и инерцијални сензори се широко користе за прецизну навигацију и позиционирање у врхунским индустријама као што су аутономна вожња, роботика и ваздухопловство. Високопрецизни процеси везивања могу осигурати поузданост уређаја и избјећи деградацију перформанси или квар током дуготрајног рада или рада на високим фреквенцијама.
Кључни захтеви за перформансе технологије везивања у МЕМС обради
У МЕМС обради, квалитет процеса везивања директно одређује перформансе, животни век и стабилност уређаја. Да би се осигурало да МЕМС уређаји могу поуздано да раде дуго времена у различитим сценаријима примене, технологија везивања мора имати следеће кључне перформансе:
1. Висока термичка стабилност
Многа окружења примене у индустрији полупроводника имају високе температурне услове, посебно у областима аутомобила, ваздухопловства, итд. Термичка стабилност материјала за везивање је кључна и може да издржи промене температуре без деградације или квара.
2. Висока отпорност на хабање
МЕМС уређаји обично укључују микромеханичке структуре, а дуготрајно трење и померање могу изазвати хабање делова споја. Материјал за везивање треба да има одличну отпорност на хабање да би се обезбедила стабилност и ефикасност уређаја у дуготрајној употреби.
3. Висока чистоћа
Индустрија полупроводника има веома строге захтеве за чистоћу материјала. Сваки сићушни загађивач може изазвати квар уређаја или деградацију перформанси. Због тога, материјали који се користе у процесу лепљења морају имати изузетно високу чистоћу како би се осигурало да уређај не буде под утицајем спољашње контаминације током рада.
4. Прецизна тачност везивања
МЕМС уређаји често захтевају тачност обраде на микронском или чак нанометарском нивоу. Процес везивања мора да обезбеди прецизно спајање сваког слоја материјала како би се осигурало да функција и перформансе уређаја не буду погођени.
Анодно везивање
Анодно везивање:
● Применљиво на везивање између силицијумских плочица и стакла, метала и стакла, полупроводника и легуре и полупроводника и стакла
Еутектоидно везивање:
● Применљиво на материјале као што су ПбСн, АуСн, ЦуСн и АуСи
Лепљење:
● Користите специјални лепак за лепљење, погодан за специјалне лепкове као што су АЗ4620 и СУ8
● Применљиво на 4 инча и 6 инча
Семицера Цустом Бондинг Сервице
Као водећи добављач решења за обраду МЕМС-а, Семицера је посвећена пружању услуга клијентима високе прецизности и стабилности прилагођених везивања. Наша технологија везивања може се широко користити у повезивању различитих материјала, укључујући силицијум, стакло, метал, керамику, итд., пружајући иновативна решења за врхунске примене у областима полупроводника и МЕМС.
Семицера има напредну производну опрему и техничке тимове, и може да обезбеди прилагођена решења лепљења према специфичним потребама купаца. Било да се ради о поузданом повезивању под високим температурама и високим притиском, или прецизном спајању микро-уређаја, Семицера може испунити различите сложене процесне захтеве како би осигурала да сваки производ може испунити највише стандарде квалитета.
Наша услуга прилагођеног везивања није ограничена на конвенционалне процесе лепљења, већ укључује и метално везивање, термичко компресионо лепљење, лепљење и друге процесе, који могу пружити професионалну техничку подршку за различите материјале, структуре и захтеве примене. Поред тога, Семицера такође може да пружи купцима пуну услугу од развоја прототипа до масовне производње како би се осигурало да сваки технички захтев купаца може бити тачно реализован.
