Потпорна плоча постоља са премазом од тантал карбида

Кратак опис:

Плоча за подршку сусцептора обложена тантал-карбидом компаније Семицера је дизајнирана за употребу у епитаксији силицијум карбидом и расту кристала. Пружа стабилну подршку у високотемпературним, корозивним окружењима или окружењима високог притиска, што је неопходно за ове напредне процесе. Обично се користи у реакторима високог притиска, структурама пећи и хемијској опреми, осигурава перформансе и стабилност система. Семицерина иновативна технологија премаза гарантује врхунски квалитет и поузданост за захтевне инжењерске примене.

Пошаљите нам емаил

Детаљи о производу

Ознаке производа

Потпорна плоча носача обложена тантал-карбидомје сусцептор или носећа структура која је прекривена танким слојем одтантал карбид. Овај премаз се може формирати на површини суцептора техникама као што су физичко таложење паре (ПВД) или хемијско таложење паре (ЦВД), дајући пријемнику супериорна својстватантал карбид.

Семицера обезбеђује специјализоване премазе од тантал карбида (ТаЦ) за различите компоненте и носаче.Семицера водећи процес премазивања омогућава премазима од тантал карбида (ТаЦ) да постигну високу чистоћу, високу температурну стабилност и високу хемијску толеранцију, побољшавајући квалитет производа СИЦ/ГАН кристала и ЕПИ слојева (ТаЦ пријемник обложен графитом), и продужава животни век кључних компоненти реактора. Употреба ТаЦ премаза од тантал карбида је да реши проблем ивице и побољша квалитет раста кристала, а Семицера је пробој решила технологију премаза тантал карбида (ЦВД), достигавши међународни напредни ниво.

Након година развоја, Семицера је освојила технологијуЦВД ТаЦзаједничким напорима одељења за истраживање и развој. Лако се јављају дефекти у процесу раста СиЦ плочица, али након употребеТаЦ, разлика је значајна. Испод је поређење плочица са и без ТаЦ, као и Симицериних делова за раст монокристала.

Главне карактеристике основних потпорних плоча обложених тантал карбидом укључују:

1. Стабилност на високим температурама: Тантал карбид има одличну стабилност на високим температурама, чинећи обложену основну потпорну плочу погодном за потребе подршке у радним окружењима на високим температурама.

2. Отпорност на корозију: премаз од тантал карбида има добру отпорност на корозију, може одолети хемијској корозији и оксидацији и продужити век трајања базе.

3. Висока тврдоћа и отпорност на хабање: Висока тврдоћа премаза од тантал карбида даје основној потпорној плочи добру отпорност на хабање, што је погодно за прилике које захтевају високу отпорност на хабање.

4. Хемијска стабилност: Тантал карбид има високу стабилност према разним хемијским супстанцама, због чега обложена основна потпорна плоча добро функционише у неким корозивним срединама.

Високоефикасни премаз од тантал карбида_ побољшава ефикасност индустријске производње и смањује трошкове одржавања Истакнута слика

Тац део за монокристал раста

Превлака од тантал карбида против хабања_ Штити опрему од хабања и корозије Истакнута слика

Графит са ТаЦ обложеним прстеном

са и без ТаЦ

Након употребе ТаЦ (десно)

Штавише, СемицераПроизводи обложени ТаЦ-омпоказују дужи век трајања и већу отпорност на високе температуре у поређењу саСиЦ премази.Лабораторијска мерења су показала да нашаТаЦ премазиможе конзистентно да ради на температурама до 2300 степени Целзијуса током дужег периода. Испод су неки примери наших узорака: