Семицера обезбеђује специјализоване премазе од тантал карбида (ТаЦ) за различите компоненте и носаче.Семицера водећи процес премазивања омогућава премазима од тантал карбида (ТаЦ) да постигну високу чистоћу, високу температурну стабилност и високу хемијску толеранцију, побољшавајући квалитет производа СИЦ/ГАН кристала и ЕПИ слојева (ТаЦ пријемник обложен графитом), и продужава животни век кључних компоненти реактора. Употреба ТаЦ премаза од тантал карбида је да реши проблем ивице и побољша квалитет раста кристала, а Семицера је пробој решила технологију премаза тантал карбида (ЦВД), достигавши међународни напредни ниво.
Носачи плочица обложени тантал карбидом се широко користе у процесима обраде и руковања плочицама у процесима производње полупроводника. Они пружају стабилну подршку и заштиту како би осигурали сигурност, тачност и конзистентност плочица током процеса производње. Превлаке од тантал карбида могу продужити век трајања носача, смањити трошкове и побољшати квалитет и поузданост полупроводничких производа.
Опис носача вафла обложеног тантал карбидом је следећи:
1. Избор материјала: Тантал карбид је материјал са одличним перформансама, високом тврдоћом, високом тачком топљења, отпорношћу на корозију и одличним механичким својствима, тако да се широко користи у процесу производње полупроводника.
2. Површински премаз: Премаз од тантал карбида се наноси на површину носача плочице кроз посебан процес премазивања како би се формирао уједначен и густи премаз од тантал карбида. Овај премаз може пружити додатну заштиту и отпорност на хабање, док има добру топлотну проводљивост.
3. Равност и прецизност: Носач вафла обложен тантал-карбидом има висок степен равности и прецизности, осигуравајући стабилност и тачност плочица током процеса производње. Равност и завршна обрада површине носача су од кључне важности за осигурање квалитета и перформанси плочице.
4. Температурна стабилност: Носачи вафла обложени тантал-кабидом могу одржавати стабилност у високотемпературним окружењима без деформације или отпуштања, осигуравајући стабилност и конзистентност плочица у процесима високе температуре.
5. Отпорност на корозију: Превлаке од тантал карбида имају одличну отпорност на корозију, могу одолети ерозији хемикалија и растварача и заштитити носач од корозије течности и гаса.
са и без ТаЦ
Након употребе ТаЦ (десно)
Штавише, СемицераПроизводи обложени ТаЦ-омпоказују дужи век трајања и већу отпорност на високе температуре у поређењу саСиЦ премази.Лабораторијска мерења су показала да нашаТаЦ премазиможе конзистентно да ради на температурама до 2300 степени Целзијуса током дужег периода. Испод су неки примери наших узорака:
