ТаЦ Цоатед Плате је специјализовани диск дизајниран за употребу у СиЦ епитаксијалним процесима, израђен са прецизношћу од висококвалитетног графитног материјала. Његова површина је пажљиво обложена тантал карбидом (ТаЦ), једињењем познатом по својој изузетној чистоћи и чврстоћи. ТаЦ премаз повећава издржљивост плоче и отпорност на високе температуре, што је чини идеалном за захтевне услове СиЦ епитаксијалних процеса.
Ова иновативна ТаЦ обложена плоча је специјализовани диск дизајниран за употребу у СиЦ епитаксијалним процесима, израђен са прецизношћу од висококвалитетног графитног материјала. Површина плоче обложене ТаЦ-ом је пажљиво обложена тантал-карбидом (ТаЦ), једињењем познатом по својој изузетној чистоћи и чврстоћи. служи као поуздана платформа за ношење плочица током различитих фаза епитаксијалног раста СиЦ. Његова графитна база високе чистоће обезбеђује стабилну и инертну површину, док ТаЦ премаз додаје додатни слој заштите од хемијских реакција и хабања.
СемићереТаЦ Цоатед Плате је прилагођена према специфичним захтевима купаца, обезбеђујући оптималне перформансе и компатибилност са њиховим СиЦ епитаксијалним системима. Било да се ради о величини, облику или другим спецификацијама, ове плоче су скројене да задовоље јединствене потребе сваке примене.
са и без ТаЦ
Након употребе ТаЦ (десно)
Штавише, СемицераПроизводи обложени ТаЦ-омпоказују дужи век трајања и већу отпорност на високе температуре у поређењу саСиЦ премази.Лабораторијска мерења су показала да нашаТаЦ премазиможе конзистентно да ради на температурама до 2300 степени Целзијуса током дужег периода. Испод су неки примери наших узорака:
