Увод у ЦВД ТаЦ премаз:
ЦВД ТаЦ премаз је технологија која користи хемијско таложење паре за таложење тантал карбида (ТаЦ) премаза на површини подлоге. Тантал карбид је керамички материјал високих перформанси са одличним механичким и хемијским својствима. ЦВД процес генерише униформан ТаЦ филм на површини супстрата кроз гасну реакцију.
Главне карактеристике:
Одлична тврдоћа и отпорност на хабање: Тантал карбид има изузетно високу тврдоћу, а ЦВД ТаЦ премаз може значајно побољшати отпорност подлоге на хабање. Ово чини премаз идеалним за примену у окружењима високог хабања, као што су алати за сечење и калупи.
Стабилност на високим температурама: ТаЦ премази штите критичне компоненте пећи и реактора на температурама до 2200°Ц, показујући добру стабилност. Одржава хемијску и механичку стабилност у екстремним температурним условима, што га чини погодним за обраду на високим температурама и примену у окружењима са високим температурама.
Одлична хемијска стабилност: Тантал карбид има јаку отпорност на корозију на већину киселина и алкалија, а ЦВД ТаЦ премаз може ефикасно спречити оштећење подлоге у корозивним срединама.
Висока тачка топљења: Тантал карбид има високу тачку топљења (приближно 3880°Ц), што омогућава да се ЦВД ТаЦ премаз користи у условима екстремно високих температура без топљења или деградације.
Одлична топлотна проводљивост: ТаЦ премаз има високу топлотну проводљивост, што помаже у ефикасном расипању топлоте у високотемпературним процесима и спречавању локалног прегревања.
Потенцијалне апликације:
• Компоненте епитаксијалног ЦВД реактора од галијум нитрида (ГаН) и силицијум карбида, укључујући носаче плочица, сателитске антене, тушеве, плафоне и пријемнике
• Компоненте раста кристала силицијум карбида, галијум нитрида и алуминијум нитрида (АлН), укључујући лонце, држаче семена, прстенове за вођење и филтере
• Индустријске компоненте укључујући отпорне грејне елементе, млазнице за убризгавање, маскирне прстенове и алате за лемљење
Карактеристике апликације:
• Температура стабилна изнад 2000°Ц, што омогућава рад на екстремним температурама
• Отпоран на водоник (Хз), амонијак (НХ3), моносилан (СиХ4) и силицијум (Си), пружајући заштиту у тешким хемијским окружењима
• Његова отпорност на термички удар омогућава брже радне циклусе
• Графит има јаку адхезију, обезбеђујући дуг радни век и нема раслојавања премаза.
• Ултра-висока чистоћа за уклањање непотребних нечистоћа или загађивача
• Конформна покривеност премаза уским толеранцијама димензија
Техничке спецификације:
Припрема густих превлака од тантал карбида ЦВД-ом:
ТАЦ премаз са високом кристалином и одличном униформношћу:
Технички параметри ЦВД ТАЦ ЦОАТИНГ_Семицер:
Горе наведене су типичне вредности.
