Сусцептор обложен тантал карбидом (ТаЦ) за опрему за епитаксију

Кратак опис:

Графит је одличан материјал за високе температуре, али лако оксидира на високим температурама. Чак иу вакуумским пећима са инертним гасом, и даље може да прође спору оксидацију. Коришћење ЦВД тантал карбида (ТаЦ) премаза може ефикасно заштитити графитну подлогу, пружајући исту отпорност на високе температуре као графит. ТаЦ је такође инертан материјал, што значи да неће реаговати са гасовима као што су аргон или водоник на високим температурама.Упит Сусцептор обложен тантал карбидом (ТаЦ) за опрему за епитаксију сада!

 

 


Детаљи о производу

Ознаке производа

Семицера обезбеђује специјализоване премазе од тантал карбида (ТаЦ) за различите компоненте и носаче.Семицера водећи процес премазивања омогућава премазима од тантал карбида (ТаЦ) да постигну високу чистоћу, високу температурну стабилност и високу хемијску толеранцију, побољшавајући квалитет производа СИЦ/ГАН кристала и ЕПИ слојева (ТаЦ пријемник обложен графитом), и продужава животни век кључних компоненти реактора. Употреба ТаЦ премаза од тантал карбида је да реши проблем ивице и побољша квалитет раста кристала, а Семицера је пробој решила технологију премаза тантал карбида (ЦВД), достигавши међународни напредни ниво.

 

Након година развоја, Семицера је освојила технологијуЦВД ТаЦзаједничким напорима одељења за истраживање и развој. Лако се јављају дефекти у процесу раста СиЦ плочица, али након употребеТаЦ, разлика је значајна. Испод је поређење плочица са и без ТаЦ, као и Симицериних делова за раст монокристала.

微信图片_20240227150045

са и без ТаЦ

微信图片_20240227150053

Након употребе ТаЦ (десно)

Штавише, СемицераПроизводи обложени ТаЦ-омпоказују дужи век трајања и већу отпорност на високе температуре у поређењу саСиЦ премази.Лабораторијска мерења су показала да нашаТаЦ премазиможе конзистентно да ради на температурама до 2300 степени Целзијуса током дужег периода. Испод су неки примери наших узорака:

 
0(1)
Семицера Радно место
Радно место Семицера 2
Опрема машина
Семицера Варе Хоусе
ЦНН обрада, хемијско чишћење, ЦВД премаз
Наша услуга

  • Претходно:
  • Следеће: