Семицера обезбеђује специјализоване премазе од тантал карбида (ТаЦ) за различите компоненте и носаче.Семицера водећи процес премазивања омогућава премазима од тантал карбида (ТаЦ) да постигну високу чистоћу, високу температурну стабилност и високу хемијску толеранцију, побољшавајући квалитет производа СИЦ/ГАН кристала и ЕПИ слојева (ТаЦ пријемник обложен графитом), и продужава животни век кључних компоненти реактора. Употреба ТаЦ премаза од тантал карбида је да реши проблем ивице и побољша квалитет раста кристала, а Семицера је пробој решила технологију премаза тантал карбида (ЦВД), достигавши међународни напредни ниво.
Силицијум карбид (СиЦ) је кључни материјал у трећој генерацији полупроводника, али је његова стопа приноса била ограничавајући фактор за раст индустрије. Након опсежног тестирања у лабораторијама Семицере, установљено је да прсканом и синтерованом ТаЦ недостаје неопходна чистоћа и униформност. Насупрот томе, ЦВД процес обезбеђује ниво чистоће од 5 ППМ и одличну униформност. Употреба ЦВД ТаЦ значајно побољшава стопу приноса плочица од силицијум карбида. Поздрављамо дискусијеТаЦ обложени графитни прстенови од три сегмента како би се додатно смањили трошкови СиЦ плочица.
са и без ТаЦ
Након употребе ТаЦ (десно)
Штавише, СемицераПроизводи обложени ТаЦ-омпоказују дужи век трајања и већу отпорност на високе температуре у поређењу саСиЦ премази.Лабораторијска мерења су показала да нашаТаЦ премазиможе конзистентно да ради на температурама до 2300 степени Целзијуса током дужег периода. Испод су неки примери наших узорака:
