Преглед производа
ТхеСилицијум импрегниран силицијум карбид (СиЦ) лопатица и носач плочицеје пројектован да испуни захтевне захтеве примене термичке обраде полупроводника. Израђен од СиЦ високе чистоће и побољшан силицијумском импрегнацијом, овај производ нуди јединствену комбинацију перформанси при високим температурама, одличне топлотне проводљивости, отпорности на корозију и изузетне механичке чврстоће.
Интеграцијом напредне науке о материјалима са прецизном производњом, ово решење обезбеђује врхунске перформансе, поузданост и издржљивост за произвођаче полупроводника.
Кључне карактеристике
1.Изузетна отпорност на високе температуре
Са тачком топљења која прелази 2700°Ц, СиЦ материјали су инхерентно стабилни под екстремном топлотом. Силицијумска импрегнација додатно побољшава њихову термичку стабилност, омогућавајући им да издрже продужено излагање високим температурама без слабљења структуре или деградације перформанси.
2.Супериорна топлотна проводљивост
Изузетна топлотна проводљивост СиЦ импрегнираног силицијумом обезбеђује равномерну дистрибуцију топлоте, смањујући термички стрес током критичних фаза обраде. Ово својство продужава животни век опреме и минимизира време застоја у производњи, што га чини идеалним за термичку обраду на високим температурама.
3.Отпорност на оксидацију и корозију
Робусни слој силицијум оксида се природно формира на површини, пружајући изузетну отпорност на оксидацију и корозију. Ово осигурава дугорочну поузданост у тешким радним окружењима, штитећи и материјал и околне компоненте.
4.Висока механичка чврстоћа и отпорност на хабање
Силицијум импрегнирани СиЦ има одличну чврстоћу на притисак и отпорност на хабање, одржавајући свој структурни интегритет под високим оптерећењем и високим температурама. Ово смањује ризик од оштећења узрокованог хабањем, осигуравајући конзистентан учинак током продужених циклуса употребе.
Спецификације
| Назив производа | СЦ-РСиЦ-Си |
| Материјал | Силицијум импрегнација Силицон Царбиде Цомпацт (високе чистоће) |
| Апликације | Делови за термичку обраду полупроводника, делови опреме за производњу полупроводника |
| Образац за испоруку | Обликовано тело (синтеровано тело) |
| Композиција | Мецханицал Проперти | Јангов модул (ГПа) | Снага при савијању (МПа) | ||
| Састав (вол%) | α-СиЦ | α-СиЦ | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°Ц | 360 | 220 | |
| Запреминска густина (кг/м³) | 3,02 к 103 | 1200°Ц | 340 | 220 | |
| Температура отпорна на топлоту°Ц | 1350 | Поиссонов однос | 0,18 (РТ) | ||
| Тхермал Проперти | Тхермал Цондуцтивити (В/(м· К)) | Специфични топлотни капацитет (кЈ/(кг·К)) | Коефицијент термичке експанзије (1/К) | ||
| RT | 220 | 0.7 | РТ~700°Ц | 3,4 к 10-6 | |
| 700°Ц | 60 | 1.23 | 700~1200°Ц | 4.3 к10-6 | |
| Садржај нечистоћа ((ппм) | |||||||||||||
| Елемент | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Цонтент Рате | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
Апликације
▪Термичка обрада полупроводника:Идеалан за процесе као што су хемијско таложење паре (ЦВД), епитаксијални раст и жарење, где су прецизна контрола температуре и издржљивост материјала критични.
▪Носачи и весла за вафле:Дизајниран да безбедно држи и транспортује плочице током термичких третмана на високим температурама.
▪Екстремна радна окружења: Погодно за подешавања која захтевају отпорност на топлоту, излагање хемикалијама и механички стрес.
Предности СиЦ импрегнираног силицијумом
Комбинација силицијум карбида високе чистоће и напредне технологије импрегнације силицијумом доноси неупоредиве предности перформанси:
▪Прецизност:Побољшава тачност и контролу обраде полупроводника.
▪Стабилност:Издржава тешка окружења без угрожавања функционалности.
▪дуговечност:Продужава радни век опреме за производњу полупроводника.
▪Ефикасност:Побољшава продуктивност обезбеђујући поуздане и доследне резултате.
Зашто одабрати наша СиЦ решења импрегнирана силицијумом?
At Семицера, специјализовани смо за пружање решења високих перформанси прилагођених потребама произвођача полупроводника. Наша силицијум импрегнирана лопатица и носач плочице од силицијум-карбида пролазе ригорозно тестирање и проверу квалитета како би испунили индустријске стандарде. Одабиром Семицере добијате приступ врхунским материјалима дизајнираним да оптимизују ваше производне процесе и унапреде ваше производне могућности.
Техничке спецификације
▪Састав материјала:Силицијум карбид високе чистоће са силицијумском импрегнацијом.
▪Опсег радне температуре:До 2700°Ц.
▪ Топлотна проводљивост:Изузетно висок за равномерну дистрибуцију топлоте.
▪Својства отпорности:Отпоран на оксидацију, корозију и хабање.
▪Пријаве:Компатибилан са различитим системима за термичку обраду полупроводника.
Контактирајте нас
Спремни да унапредите свој процес производње полупроводника? КонтактСемицераданас да бисте сазнали више о нашем силицијум-импрегнираном силицијум карбидном лопатици и носачу плочица.
▪Емаил: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Телефон: +86-0574-8650 3783
▪Локација:Но.1958 Јиангнан Роад, Нингбо Хигх тецх, зона, провинција Зхејианг, 315201, Кина
