Епитаксија силицијум карбидом

Кратак опис:

Епитаксија силицијум карбидом– Висококвалитетни епитаксијални слојеви скројени за напредне полупроводничке апликације, нудећи врхунске перформансе и поузданост за енергетску електронику и оптоелектронске уређаје.


Детаљи о производу

Ознаке производа

Семицера'сЕпитаксија силицијум карбидомје пројектован да задовољи ригорозне захтеве савремених полупроводничких апликација. Коришћењем напредних техника епитаксијалног раста, обезбеђујемо да сваки слој силицијум карбида показује изузетан кристални квалитет, униформност и минималну густину дефеката. Ове карактеристике су кључне за развој енергетске електронике високих перформанси, где су ефикасност и управљање топлотом најважнији.

ТхеЕпитаксија силицијум карбидомПроцес у Семицери је оптимизован за производњу епитаксијалних слојева са прецизном дебљином и контролом допинга, обезбеђујући доследне перформансе на низу уређаја. Овај ниво прецизности је од суштинског значаја за апликације у електричним возилима, системима обновљивих извора енергије и високофреквентним комуникацијама, где су поузданост и ефикасност критичне.

Штавише, СемицераЕпитаксија силицијум карбидомнуди побољшану топлотну проводљивост и већи напон пробоја, што га чини пожељним избором за уређаје који раде у екстремним условима. Ова својства доприносе дужем животном веку уређаја и побољшању укупне ефикасности система, посебно у окружењима велике снаге и високе температуре.

Семицера такође нуди опције прилагођавања заЕпитаксија силицијум карбидом, омогућавајући решења по мери која испуњавају специфичне захтеве уређаја. Било за истраживање или производњу великих размера, наши епитаксијални слојеви су дизајнирани да подрже следећу генерацију полупроводничких иновација, омогућавајући развој моћнијих, ефикаснијих и поузданијих електронских уређаја.

Интеграцијом најсавременије технологије и строгих процеса контроле квалитета, Семицера обезбеђује да нашеЕпитаксија силицијум карбидомпроизводи не само да испуњавају већ и превазилазе индустријске стандарде. Ова посвећеност изврсности чини наше епитаксијалне слојеве идеалном основом за напредне примене полупроводника, утирући пут продорима у енергетској електроници и оптоелектроници.

Предмети

Производња

Истраживања

Думми

Цристал Параметерс

Политипе

4H

Грешка у оријентацији површине

<11-20 >4±0,15°

Елецтрицал Параметерс

Допант

н-тип азота

Отпорност

0,015-0,025 охм·цм

Механички параметри

Пречник

150.0±0.2мм

Дебљина

350±25 μм

Примарна равна оријентација

[1-100]±5°

Примарна равна дужина

47,5±1,5 мм

Секундарни стан

Ниједан

ТТВ

≤5 μм

≤10 μм

≤15 μм

ЛТВ

≤3 μм (5мм*5мм)

≤5 μм (5мм*5мм)

≤10 μм (5мм*5мм)

Бов

-15μм ~ 15μм

-35μм ~ 35μм

-45μм ~ 45μм

Варп

≤35 μм

≤45 μм

≤55 μм

Предња (Си-фаце) храпавост (АФМ)

Ра≤0,2нм (5μм*5μм)

Структура

Густина микропипе

<1 еа/цм2

<10 еа/цм2

<15 еа/цм2

Металне нечистоће

≤5Е10атома/цм2

NA

БПД

≤1500 еа/цм2

≤3000 еа/цм2

NA

ТСД

≤500 еа/цм2

≤1000 еа/цм2

NA

Фронт Куалити

Фронт

Si

Завршна обрада

Си-фаце ЦМП

Честице

≤60еа/вафер (величина≥0,3μм)

NA

Огреботине

≤5еа/мм. Кумулативна дужина ≤Пречник

Кумулативна дужина≤2*Пречник

NA

Наранџина кора/рупице/мрље/пруге/пукотине/загађење

Ниједан

NA

Ивичне струготине / удубљења / фрактуре / хексадецималне плоче

Ниједан

Политипске области

Ниједан

Кумулативна површина≤20%

Кумулативна површина≤30%

Предње ласерско обележавање

Ниједан

Бацк Куалити

Задњи завршетак

Ц-фаце ЦМП

Огреботине

≤5еа/мм, кумулативна дужина≤2*Пречник

NA

Дефекти на полеђини (ивичњаци/удубљења)

Ниједан

Храпавост леђа

Ра≤0,2нм (5μм*5μм)

Ласерско обележавање леђа

1 мм (од горње ивице)

Едге

Едге

Цхамфер

Паковање

Паковање

Епи-реади са вакуум паковањем

Мулти-вафер касета паковање

*Напомене: „НА“ значи да нема захтева Ставке које нису поменуте могу се односити на СЕМИ-СТД.

тецх_1_2_сизе
СиЦ плочице

  • Претходно:
  • Следеће: