Опис
Семицера СиЦ обложени графитни пријемници су пројектовани коришћењем висококвалитетних графитних супстрата, који су пажљиво обложени силицијум карбидом (СиЦ) кроз напредне процесе хемијског таложења паре (ЦВД). Овај иновативни дизајн обезбеђује изузетну отпорност на топлотни удар и хемијску деградацију, значајно продужавајући животни век графитног сусцептора обложеног СиЦ и гарантујући поуздане перформансе током целог процеса производње полупроводника.
Кључне карактеристике:
1. Супериорна топлотна проводљивостГрафитни пријемник обложен СиЦ-ом показује изузетну топлотну проводљивост, што је кључно за ефикасно одвођење топлоте током производње полупроводника. Ова карактеристика минимизира топлотне градијенте на површини плочице, промовишући уједначену дистрибуцију температуре која је неопходна за постизање жељених својстава полупроводника.
2. Робусна отпорност на хемијске и термичке удареСиЦ премаз пружа изузетну заштиту од хемијске корозије и топлотног удара, одржавајући интегритет графитног пријемника чак и у тешким окружењима обраде. Ова побољшана издржљивост смањује време застоја и продужава животни век, доприносећи повећању продуктивности и исплативости у производним погонима полупроводника.
3. Прилагођавање специфичним потребамаНаши графитни пријемници обложени СиЦ-ом могу се прилагодити специфичним захтевима и преференцијама. Нудимо низ опција прилагођавања, укључујући прилагођавање величине и варијације у дебљини премаза, како бисмо осигурали флексибилност дизајна и оптимизоване перформансе за различите примене и процесне параметре.
Апликације:
Примене Семицера СиЦ премази се користе у различитим фазама производње полупроводника, укључујући:
1. -Израда ЛЕД чипова
2. -Производња полисилицијума
3. -Раст полупроводничких кристала
4. -Силицијум и СиЦ Епитаксија
5. -Термичка оксидација и дифузија (ТО&Д)