Носачи графитних плочица обложени силицијум карбидом

1. Изузетна термичка стабилност и проводљивостНаши носачи вафла обложени СиЦ-ом су одлични у одржавању стабилних и конзистентних температура, што је кључно за ЦВД процесе. Ово обезбеђује равномерну дистрибуцију топлоте, што доводи до супериорног танког филма и квалитета премаза.

2. Прецизна производњаСваки носач плочице је произведен по строгим стандардима, обезбеђујући уједначену дебљину и глаткоћу површине. Ова прецизност је од виталног значаја за постизање конзистентних стопа таложења и својстава филма на више плочица, побољшавајући укупни квалитет производње.

3. Баријера нечистоћаСиЦ премаз делује као непропусна баријера, спречавајући дифузију нечистоћа из пријемника у плочицу. Ово минимизира ризик од контаминације, што је кључно за производњу полупроводничких уређаја високе чистоће.

4. Трајност и економичностРобусна конструкција и СиЦ премаз повећавају издржљивост носача плочице, смањујући учесталост замене сусцептора. Ово доводи до нижих трошкова одржавања и минимизирања застоја, повећавајући ефикасност операција производње полупроводника.

5. Опције прилагођавањаСемицорек носачи плочица са СиЦ премазом могу се прилагодити да задовоље специфичне захтеве процеса, укључујући варијације у величини, облику и дебљини премаза. Ова флексибилност омогућава оптимизацију пријемника како би одговарао јединственим захтевима различитих процеса производње полупроводника. Опције прилагођавања омогућавају развој дизајна носача прилагођених специјализованим апликацијама, као што су производња великог обима или истраживање и развој, обезбеђујући оптималне перформансе за специфичне случајеве употребе.