СемицераКерамички премаз од силицијум карбидаје заштитни премаз високих перформанси направљен од изузетно тврдог и отпорног на хабање материјала силицијум карбида (СиЦ). Премаз се обично наноси на површину подлоге ЦВД или ПВД поступком сачестице силицијум карбида, пружа одличну отпорност на хемијску корозију и стабилност на високим температурама. Због тога се керамички премаз од силицијум карбида широко користи у кључним компонентама опреме за производњу полупроводника.
У производњи полупроводника,СиЦ премазможе да издржи екстремно високе температуре до 1600°Ц, тако да се керамички премаз од силицијум карбида често користи као заштитни слој за опрему или алате за спречавање оштећења у високим температурама или корозивним срединама.
у исто време,керамички премаз од силицијум карбидаможе да се одупре ерозији киселина, алкалија, оксида и других хемијских реагенса и има високу отпорност на корозију на разне хемијске супстанце. Стога је овај производ погодан за различита корозивна окружења у индустрији полупроводника.
Штавише, у поређењу са другим керамичким материјалима, СиЦ има већу топлотну проводљивост и може ефикасно да спроводи топлоту. Ова карактеристика одређује да у полупроводничким процесима који захтевају прецизну контролу температуре, висока топлотна проводљивост одКерамички премаз од силицијум карбидапомаже у равномерној дисперзији топлоте, спречавању локалног прегревања и осигуравању да уређај ради на оптималној температури.
| Основна физичка својства ЦВД сиц превлаке | |
| Имовина | Типична вредност |
| Цристал Струцтуре | ФЦЦ β фаза поликристална, углавном (111) оријентисана |
| Густина | 3,21 г/цм³ |
| Тврдоћа | 2500 Вицкерс тврдоћа (500г оптерећење) |
| Величина зрна | 2~10μм |
| Хемијска чистоћа | 99,99995% |
| Хеат Цапацити | 640 Ј·кг-1·К-1 |
| Температура сублимације | 2700℃ |
| Флекурал Стренгтх | 415 МПа РТ 4 тачке |
| Иоунгов модул | 430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃ |
| Тхермал Цондуцтивити | 300В·м-1·К-1 |
| Термичка експанзија (ЦТЕ) | 4,5×10-6K-1 |
