Носачи СиЦ премаза за јеткање полупроводника

Кратак опис:

Семицера Семицондуцтор Тецхнологи Цо., Лтд. је водећи добављач напредне полупроводничке керамике. Наши главни производи укључују: урезане дискове од силицијум карбида, приколице за чамце од силицијум карбида, бродове за плочице од силицијум карбида (ПВ & Семицондуцтор), цеви за пећи од силицијум карбида, конзолне лопатице од силицијум карбида, стезну главу од силицијум карбида, као и греде од силицијум карбида, као и греде од силицијум карбида и Ц. ТаЦ премази.

Производи се углавном користе у полупроводничкој и фотонапонској индустрији, као што су раст кристала, епитаксија, јеткање, паковање, премазивање и опрема за пећи за дифузију.

 

 


Детаљи о производу

Ознаке производа

Опис

Наша компанија пружа услуге обраде СиЦ премаза ЦВД методом на површини графита, керамике и других материјала, тако да специјални гасови који садрже угљеник и силицијум реагују на високој температури да би добили молекуле СиЦ високе чистоће, молекуле депоноване на површини обложених материјала, формирајући СИЦ заштитни слој.

Главне карактеристике

1. Отпорност на оксидацију високе температуре:
отпорност на оксидацију је и даље веома добра када је температура чак 1600 Ц.
2. Висока чистоћа: направљено хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високој температури.
3. Отпорност на ерозију: висока тврдоћа, компактна површина, фине честице.
4. Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза

СиЦ-ЦВД својства

Цристал Струцтуре ФЦЦ β фаза
Густина г/цм ³ 3.21
Тврдоћа Викерсова тврдоћа 2500
Величина зрна μм 2~10
Хемијска чистоћа % 99,99995
Хеат Цапацити Ј·кг-1 ·К-1 640
Температура сублимације 2700
Фелекурал Стренгтх МПа (РТ 4 тачке) 415
Иоунгов модул Гпа (4пт савијање, 1300℃) 430
термичка експанзија (ЦТЕ) 10-6К-1 4.5
Топлотна проводљивост (В/мК) 300
Семицера Радно место
Радно место Семицера 2
Опрема машина
ЦНН обрада, хемијско чишћење, ЦВД премаз
Наша услуга

  • Претходно:
  • Следеће: