ПФА касета

Кратак опис:

ПФА касета– Искусите неупоредиву хемијску отпорност и издржљивост са Семицера ПФА касетом, идеално решење за безбедно и ефикасно руковање плочицама у производњи полупроводника.


Детаљи о производу

Ознаке производа

Семицераса задовољством нудиПФА касета, врхунски избор за руковање плочицама у окружењима где су хемијска отпорност и издржљивост најважнији. Израђена од перфлуороалкокси (ПФА) материјала високе чистоће, ова касета је дизајнирана да издржи најзахтевније услове у производњи полупроводника, осигуравајући сигурност и интегритет ваших плочица.

Хемијска отпорност без премцаТхеПФА касетаје пројектован да пружи врхунску отпорност на широк спектар хемикалија, што га чини савршеним избором за процесе који укључују агресивне киселине, раствараче и друге јаке хемикалије. Ова робусна хемијска отпорност осигурава да касета остане нетакнута и функционална чак иу најкорозивнијим срединама, чиме се продужава њен животни век и смањује потреба за честим заменама.

Конструкција високе чистоћеСемицера'сПФА касетаје произведен од ултра чистог ПФА материјала, који је критичан у спречавању контаминације током обраде вафла. Ова конструкција високе чистоће минимизира ризик од стварања честица и хемијског испирања, осигуравајући да су ваше плочице заштићене од нечистоћа које би могле угрозити њихов квалитет.

Повећана издржљивост и перформансеДизајниран за издржљивост,ПФА касетаодржава свој структурни интегритет под екстремним температурама и ригорозним условима обраде. Без обзира да ли је изложена високим температурама или подвргнута сталном руковању, ова касета задржава свој облик и перформансе, нудећи дугорочну поузданост у захтевним производним окружењима.

Прецизно инжењерство за безбедно руковањеТхеСемицера ПФА касетакарактерише прецизан инжењеринг који обезбеђује сигурно и стабилно руковање плочицама. Сваки утор је пажљиво дизајниран да безбедно држи плочице на месту, спречавајући било какво померање или померање које би могло да доведе до оштећења. Овај прецизни инжењеринг подржава доследно и тачно постављање плочице, доприносећи укупној ефикасности процеса.

Разноврсна примена у свим процесимаЗахваљујући врхунским својствима материјала,ПФА касетадовољно је свестран да се користи у различитим фазама производње полупроводника. Посебно је погодан за мокро нагризање, хемијско таложење паре (ЦВД) и друге процесе који укључују оштра хемијска окружења. Његова прилагодљивост чини га основним алатом у одржавању интегритета процеса и квалитета плочице.

Посвећеност квалитету и иновацијамаУ Семицери смо посвећени пружању производа који испуњавају највише индустријске стандарде. ТхеПФА касетапредставља пример ове посвећености, нудећи поуздано решење које се неприметно интегрише у ваше производне процесе. Свака касета пролази стриктну контролу квалитета како би се осигурало да испуњава наше ригорозне критеријуме перформанси, пружајући изврсност коју очекујете од Семицере.

Предмети

Производња

Истраживања

Думми

Цристал Параметерс

Политипе

4H

Грешка у оријентацији површине

<11-20 >4±0,15°

Елецтрицал Параметерс

Допант

н-тип азота

Отпорност

0,015-0,025 охм·цм

Механички параметри

Пречник

150.0±0.2мм

Дебљина

350±25 μм

Примарна равна оријентација

[1-100]±5°

Примарна равна дужина

47,5±1,5 мм

Секундарни стан

Ниједан

ТТВ

≤5 μм

≤10 μм

≤15 μм

ЛТВ

≤3 μм (5мм*5мм)

≤5 μм (5мм*5мм)

≤10 μм (5мм*5мм)

Бов

-15μм ~ 15μм

-35μм ~ 35μм

-45μм ~ 45μм

Варп

≤35 μм

≤45 μм

≤55 μм

Предња (Си-фаце) храпавост (АФМ)

Ра≤0,2нм (5μм*5μм)

Структура

Густина микропипе

<1 еа/цм2

<10 еа/цм2

<15 еа/цм2

Металне нечистоће

≤5Е10атома/цм2

NA

БПД

≤1500 еа/цм2

≤3000 еа/цм2

NA

ТСД

≤500 еа/цм2

≤1000 еа/цм2

NA

Фронт Куалити

Фронт

Si

Завршна обрада

Си-фаце ЦМП

Честице

≤60еа/вафер (величина≥0,3μм)

NA

Огреботине

≤5еа/мм. Кумулативна дужина ≤Пречник

Кумулативна дужина≤2*Пречник

NA

Наранџина кора/рупице/мрље/пруге/пукотине/загађење

Ниједан

NA

Ивичне струготине / удубљења / фрактуре / хексадецималне плоче

Ниједан

Политипске области

Ниједан

Кумулативна површина≤20%

Кумулативна површина≤30%

Предње ласерско обележавање

Ниједан

Бацк Куалити

Задњи завршетак

Ц-фаце ЦМП

Огреботине

≤5еа/мм, кумулативна дужина≤2*Пречник

NA

Дефекти на полеђини (ивичњаци/удубљења)

Ниједан

Храпавост леђа

Ра≤0,2нм (5μм*5μм)

Ласерско обележавање леђа

1 мм (од горње ивице)

Едге

Едге

Цхамфер

Паковање

Паковање

Епи-реади са вакуум паковањем

Мулти-вафер касета паковање

*Напомене: „НА“ значи да нема захтева Ставке које нису поменуте могу се односити на СЕМИ-СТД.

тецх_1_2_сизе
СиЦ плочице

  • Претходно:
  • Следеће: