Шта је МОЦВД сусцептор?

ТхеМОЦВДМетода је један од најстабилнијих процеса који се тренутно користи у индустрији за узгој висококвалитетних монокристалних танких филмова, као што су једнофазни ИнГаН епилатери, ИИИ-Н материјали и полупроводнички филмови са структурама више квантних бунара, и од великог је значаја у производњу полупроводничких и оптоелектронских уређаја.

ТхеСиЦ премаз МОЦВД пријемникје специјализовани држач плочице обложен силицијум карбидом (СиЦ) заепитаксијалне раст у процесу депозиције металних органских хемијских пара (МОЦВД).

СиЦ премаз има одличну хемијску отпорност и термичку стабилност, што га чини идеалним избором за МОЦВД пријемнике који се користе у захтевним епитаксијалним процесима раста.

Кључна компонента МОЦВД процеса је сусцептор, који је кључни елемент за осигурање униформности и квалитета произведених танких филмова.

Шта је сусцептор? Сусцептор је специјализована компонента која се користи у МОЦВД процесу да подржи и загреје подлогу на коју се наноси танак филм. Има више функција, укључујући апсорпцију електромагнетне енергије, претварање у топлоту и равномерну дистрибуцију топлоте на подлози. Ово равномерно загревање је неопходно за раст једноличних танких филмова са прецизном дебљином и саставом.

Врсте сусцептора:
1. Графитни пријемници: Графитни пријемници су често обложени заштитним слојем као што јесилицијум карбид (СиЦ), који је познат по својој високој топлотној проводљивости и стабилности. ТхеСиЦ премазобезбеђује тврду, заштитну површину која је отпорна на корозију и деградацију на високим температурама.

2. Прикључци од силицијум карбида (СиЦ): Ови пријемници су у потпуности направљени од СиЦ и имају одличну термичку стабилност и отпорност на хабање. СиЦ пријемници су посебно погодни за процесе високе температуре и корозивна окружења.

Како сусцептори раде у МОЦВД:

У МОЦВД процесу, прекурсори се уводе у реакциону комору где се разлажу и реагују да формирају танак филм на подлози. Сусцептор игра виталну улогу тако што обезбеђује да се супстрат загрева равномерно, што је кључно за постизање конзистентних својстава филма на целој површини супстрата. Материјал и дизајн суцептора су пажљиво одабрани како би испунили специфичне захтеве процеса таложења, као што су температурни опсег и хемијска компатибилност.

Предности коришћења висококвалитетних сусцептора:
• Побољшан квалитет филма: Пружајући уједначену дистрибуцију топлоте, сусцептор помаже у постизању филмова конзистентне дебљине и састава, што је кључно за перформансе полупроводничких уређаја.
• Побољшана ефикасност процеса: Висококвалитетни пријемници повећавају укупну ефикасност МОЦВД процеса смањујући вероватноћу дефеката и повећавајући принос употребљивих филмова.
• Животни век и поузданост: Прикључци направљени од издржљивих материјала као што је СиЦ обезбеђују дугорочну поузданост и смањују трошкове одржавања.

Сусцептор је саставна компонента у МОЦВД процесу и директно утиче на квалитет и ефикасност таложења танког филма. За више информација о доступним величинама, МОЦВД пријемницима и ценама, не оклевајте да нас контактирате. Наши инжењери ће вас радо посаветовати о одговарајућим материјалима и одговорити на сва ваша питања.

Телефон: +86-13373889683
ВхатсАПП: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com