Увод у превлаку од стакластог угљеника за полупроводнике

И. Увод у структуру стакластог угљеника

карактеристике:

(1) Површина стакластог угљеника је глатка и има стакласту структуру;

(2) Стаклени угљеник има високу тврдоћу и ниско стварање прашине;

(3) Стаклени угљеник има велику ИД/ИГ вредност и веома низак степен графитизације, а перформансе топлотне изолације су му боље;

(4) Стаклени угљеник је угљеник који се тешко графитизује са добром отпорношћу на високе температуре и јаком стабилношћу на високим температурама;

(5) Стаклени угљеник има малу реакциону површину и одличну отпорност на хемијску корозију и отпорнији је на ерозију кисеоником, силицијумом итд.

ИИ. Увод у превлаку од стакленог угљеника

Површинске поре премаза од љуспичастог графита су распоређене и структура је лабава, док је структура стакленог угљеника затегнута и не опада!

1. Антиоксидациона својства премаза од стакленог угљеника

(1)Ламинирани тврди филц
Превлака од стакленог угљеника ефикасно побољшава антиоксидацијске перформансе тврдог филца;

(2)Тврди филц од кратких влакана
Целокупни филц има високу порозност и обезбеђује канале кисеоника; превлака од љускавог графита има лабаву структуру, мање канала кисеоника и побољшане перформансе антиоксидације; премаз обложен стакластим угљеником има густу структуру, мање канала кисеоника и најбоље антиоксидативне перформансе.

2. Високотемпературна стабилност стакленог угљеника премаза против аблације
Порозна структура обичног филца може ублажити топлоту (конвекцијска топлотна дисипација); графитни папир је подложан стварању пликова приликом аблације; дубина аблације стакленог угљеника је најплића, а отпорност на аблацију најјача; премаз од стакленог угљеника има добре перформансе топлотне изолације.

3. Анти-Си ерозијске перформансе стакленог угљеника премаза
Тврди филц од кратких влакана је еродиран и у праху од Си; премаз од љуспавог графита има отпорност на ерозију Си у кратком року; стаклени угљенични премаз има најбоље перформансе против ерозије.

Главни разлог за ерозију Си је тај што гасификација Си директно еродира површину тврдог филца, што доводи до прашкања; док је структура угљеника стакленог угљеничног премаза стабилнија и има боље перформансе против ерозије.

Резиме

Систем премаза од стакленог угљеника се не користи само на термоизолационим материјалима, већ се такође очекује да се директно користи на површини графитних делова иЦ/Ц делови, ефективно побољшавајући перформансе свеобухватне услуге материјала.