У опреми за плазма гравирање, керамичке компоненте играју кључну улогу, укључујућипрстен за фокусирање.Тхе прстен за фокусирање, постављена око плочице и у директном контакту са њом, неопходна је за фокусирање плазме на плочицу применом напона на прстен. Ово побољшава униформност процеса гравирања.
Примена СиЦ фокусних прстенова у машинама за нагризање
СиЦ ЦВД компонентеу машинама за гравирање, као нпрпрстенови за фокус, гасне тушеве, плоче и ивични прстенови, фаворизовани су због ниске реактивности СиЦ-а са гасовима за јеткање на бази хлора и флуора и његове проводљивости, што га чини идеалним материјалом за опрему за плазма јеткање.
Предности СиЦ-а као материјала за фокусни прстен
Због директног излагања плазми у вакуум реакционој комори, фокусни прстенови морају бити направљени од материјала отпорних на плазму. Традиционални фокусни прстенови, направљени од силицијума или кварца, пате од лоше отпорности на нагризање у плазми на бази флуора, што доводи до брзе корозије и смањене ефикасности.
Поређење између Си и ЦВД СиЦ фокусних прстенова:
1. Већа густина:Смањује волумен јеткања.
2. Широки појас: Пружа одличну изолацију.
3. Висока топлотна проводљивост и низак коефицијент експанзије: Отпоран на топлотни удар.
4. Висока еластичност:Добра отпорност на механички утицај.
5. Висока тврдоћа: Отпоран на хабање и корозију.
СиЦ дели електричну проводљивост силицијума док нуди супериорну отпорност на јонско јеткање. Како минијатуризација интегрисаног кола напредује, потражња за ефикаснијим процесима гравирања се повећава. Опрема за јеткање плазмом, посебно она која користи капацитивну спрегнуту плазму (ЦЦП), захтева високу енергију плазме,СиЦ фокусни прстеновисве популарнији.
Си и ЦВД СиЦ параметри фокусног прстена:
| Параметар | силицијум (Си) | ЦВД силицијум карбид (СиЦ) |
| Густина (г/цм³) | 2.33 | 3.21 |
| Банд Гап (еВ) | 1.12 | 2.3 |
| Топлотна проводљивост (В/цм°Ц) | 1.5 | 5 |
| Коефицијент термичке експанзије (к10⁻⁶/°Ц) | 2.6 | 4 |
| Модул еластичности (ГПа) | 150 | 440 |
| Тврдоћа | Ниже | Више |
Процес производње СиЦ фокусних прстенова
У полупроводничкој опреми, ЦВД (хемијско таложење паре) се обично користи за производњу СиЦ компоненти. Фокусни прстенови се производе наношењем СиЦ-а у одређене облике таложењем паром, након чега следи механичка обрада да би се формирао коначни производ. Однос материјала за таложење паре је фиксиран након опсежног експериментисања, чинећи параметре као што је отпорност конзистентним. Међутим, различита опрема за гравирање може захтевати фокусне прстенове са различитим отпорима, што захтева нове експерименте о односу материјала за сваку спецификацију, што је дуготрајно и скупо.
ИзборомСиЦ фокусни прстеновиизСемицера Семицондуцтор, купци могу постићи предности дужих циклуса замене и супериорних перформанси без значајног повећања трошкова.
Компоненте за брзу термичку обраду (РТП).
Изузетна термичка својства ЦВД СиЦ чине га идеалним за РТП апликације. РТП компоненте, укључујући ивичне прстенове и плоче, имају користи од ЦВД СиЦ. Током РТП-а, интензивни топлотни импулси се примењују на појединачне плочице у кратком трајању, након чега следи брзо хлађење. ЦВД СиЦ ивични прстенови, будући да су танки и имају малу топлотну масу, не задржавају значајну топлоту, због чега на њих не утичу брзи процеси загревања и хлађења.
Компоненте за јеткање плазмом
Висока хемијска отпорност ЦВД СиЦ-а чини га погодним за апликације нагризања. Многе коморе за јеткање користе ЦВД СиЦ плоче за дистрибуцију гасова за дистрибуцију гасова за јеткање, које садрже хиљаде сићушних рупа за дисперзију плазме. У поређењу са алтернативним материјалима, ЦВД СиЦ има нижу реактивност са гасовима хлора и флуора. У сувом нагризању, ЦВД СиЦ компоненте као што су фокусни прстенови, ИЦП плоче, гранични прстенови и туш главе се обично користе.
СиЦ фокусни прстенови, са својим примењеним напоном за фокусирање плазме, морају имати довољну проводљивост. Обично направљени од силицијума, фокусни прстенови су изложени реактивним гасовима који садрже флуор и хлор, што доводи до неизбежне корозије. СиЦ фокусни прстенови, са својом супериорном отпорношћу на корозију, нуде дужи век трајања у поређењу са силиконским прстеновима.
Поређење животног циклуса:
· СиЦ фокусни прстенови:Замена сваких 15 до 20 дана.
· Силиконски фокусни прстенови:Замена сваких 10 до 12 дана.
Упркос томе што су СиЦ прстенови 2 до 3 пута скупљи од силиконских прстенова, продужени циклус замене смањује укупне трошкове замене компоненти, пошто се сви делови који се хабају у комори замењују истовремено када се комора отвори ради замене фокусног прстена.
СиЦ фокусни прстенови компаније Семицера Семицондуцтор
Семицера Семицондуцтор нуди СиЦ фокусне прстенове по ценама сличним ценама силиконских прстенова, са роком испоруке од приближно 30 дана. Интеграцијом Семицериних СиЦ фокусних прстенова у опрему за плазма нагризање, ефикасност и дуговечност су значајно побољшани, смањујући укупне трошкове одржавања и повећавајући ефикасност производње. Поред тога, Семицера може прилагодити отпорност прстенова фокуса како би задовољила специфичне захтеве купаца.
Одабиром СиЦ фокусних прстенова компаније Семицера Семицондуцтор, купци могу постићи предности дужих циклуса замене и супериорних перформанси без значајног повећања трошкова.
Време поста: Јул-10-2024