Сви танки филмови који се користе у производњи полупроводника имају отпор, а отпор филма има директан утицај на перформансе уређаја. Обично не меримо апсолутни отпор филма, већ користимо отпор лима да га карактеришемо.
Шта су отпор лима и запремински отпор?
Отпор запремине, такође познат као запремински отпор, је својство материјала које карактерише колико материјал омета проток електричне струје. Често коришћени симбол ρ представља, јединица је Ω.
Отпорност листова, такође позната као отпорност на листове, енглески назив је схеет отпор, што се односи на вредност отпора филма по јединици површине. Уобичајени симболи Рс или ρс за изражавање, јединица је Ω/ск или Ω/□
Однос између њих је: отпор лима = запремински отпор/дебљина филма, односно Рс =ρ/т
Зашто мерити отпор лима?
Мерење апсолутног отпора филма захтева прецизно познавање геометријских димензија филма (дужина, ширина, дебљина), које има много варијабли и веома је сложено за веома танке или неправилне фолије. Отпорност лима је повезана само са дебљином филма и може се брзо и директно тестирати без компликованих прорачуна величине.
Који филмови треба да измере отпор лима?
Генерално, квадратни отпор проводних филмова и полупроводничких филмова треба мерити, док изолационих филмова није потребно мерити.
У полупроводничком допирању, такође се мери отпор плоче силицијума.
Како измерити квадратни отпор?
Метода са четири сонде се углавном користи у индустрији. Метода са четири сонде може да мери квадратни отпор у распону од 1Е-3 до 1Е+9Ω/ск. Методом са четири сонде могу се избећи грешке мерења због контактног отпора између сонде и узорка.
Методе мерења:
1) Поставите четири линеарно распоређене сонде на површину узорка.
2) Примените константну струју између две спољне сонде.
3) Одредите отпор мерењем разлике потенцијала између две унутрашње сонде
РС : отпор лима
ΔВ: Промена напона измерена између унутрашњих сонди
И : Струја примењена између спољних сонди
Време поста: 29.03.2024