Примена силицијум карбидне керамике у пољу полупроводника

Полупроводници:

Индустрија полупроводника следи индустријски закон „једна генерација технологије, једна генерација процеса и једна генерација опреме“, а надоградња и итерација полупроводничке опреме у великој мери зависи од технолошког пробоја прецизних делова. Међу њима, прецизни керамички делови су најрепрезентативнији материјали за прецизне полупроводничке делове, који имају важну примену у низу главних производних веза полупроводника као што су хемијско таложење паром, физичко таложење паре, имплантација јона и јеткање. Као што су лежајеви, водилице, облоге, електростатичке стезне главе, механичке руке за руковање, итд. Нарочито унутар шупљине опреме, игра улогу подршке, заштите и преусмеравања.

640

Од 2023, Холандија и Јапан су такође сукцесивно издавали нове прописе или спољнотрговинске уредбе о контроли, додајући прописе о извозним дозволама за полупроводничку опрему укључујући машине за литографију, а тренд антиглобализације полупроводника постепено се појавио. Важност независне контроле ланца снабдевања постаје све истакнутија. Суочене са захтевом за локализацијом делова полупроводничке опреме, домаће компаније активно промовишу индустријски развој. Зхонгци Елецтроницс је реализовао локализацију високотехнолошких прецизних делова као што су грејне плоче и електростатичке стезне главе, решавајући проблем „уског грла“ домаће индустрије полупроводничке опреме; Дезхи Нев Материалс, водећи домаћи добављач графитних база обложених СиЦ и прстенова за јеткање СиЦ, успешно је завршио финансирање од 100 милиона јуана, итд....
Керамичке подлоге од силицијум нитрида високе проводљивости:

Керамичке подлоге од силицијум нитрида се углавном користе у енергетским јединицама, полупроводничким уређајима и инвертерима чисто електричних возила (ЕВ) и хибридних електричних возила (ХЕВ), и имају огроман тржишни потенцијал и изгледе за примену.

640 (1)

Тренутно, керамички материјали подлоге од силицијум нитрида високе топлотне проводљивости за комерцијалне примене захтевају топлотну проводљивост ≥85 В/(м·К), чврстоћу на савијање ≥650МПа и жилавост лома 5~7МПа·м1/2. Компаније које заиста имају могућност масовне производње керамичких супстрата од силицијум нитрида високе топлотне проводљивости су углавном Тосхиба Гроуп, Хитацхи Металс, Јапан Елецтриц Цхемицал, Јапан Марува и Јапан Фине Церамицс.

Домаћа истраживања керамичких супстрата од силицијум нитрида такође су постигла одређени напредак. Топлотна проводљивост керамичке подлоге од силицијум нитрида припремљене поступком ливења траке у Пекиншком огранку компаније Синома Хигх-Тецх Нитриде Церамицс Цо., Лтд. је 100 В/(м·К); Пекинг Синома Артифициал Цристал Ресеарцх Институте Цо., Лтд. је успешно припремио керамичку подлогу од силицијум нитрида са чврстоћом савијања од 700-800МПа, жилавошћу на лом ≥8МПа·м1/2 и топлотном проводљивошћу ≥80В/(м·К) оптимизацијом методе и процеса синтеровања.


Време поста: 29.10.2024