Изостатски ПЕЦВД графитни чамац

Кратак опис:

Изостатски ПЕЦВД графитни чамац се широко користи у различитим везама у производњи полупроводника, као што су таложење полисилицијумског филма, таложење оксидног филма, таложење нитридног филма, итд. Његове одличне перформансе чине га идеалним носачем плочица у ПЕЦВД процесу.

Пошаљите нам емаил

Детаљи о производу

Ознаке производа

СЕМИЦЕРА изостатски ПЕЦВД графитни чамац је графитни производ високе чистоће, високе густине дизајниран за подршку плочица у ПЕЦВД (плазма побољшано хемијско таложење парама) процес. СЕМИЦЕРА користи напредну технологију изостатичког пресовања како би осигурала да графитни чамац има одличну отпорност на високе температуре, отпорност на корозију, стабилност димензија и добру топлотну проводљивост, што је незамјењив потрошни материјал у процесу производње полупроводника.

СЕМИЦЕРА изостатски ПЕЦВД графитни чамац има следеће предности:

▪ Висока чистоћа: Графитни материјал је високе чистоће и ниског садржаја нечистоћа да би се избегла контаминација површине плочице.

▪ Висока густина: Висока густина, висока механичка чврстоћа, може издржати високу температуру и високо вакуумско окружење.

▪ Добра стабилност димензија: Мала промена димензија на високој температури да би се осигурала стабилност процеса.

▪ Одлична топлотна проводљивост: Ефикасно преноси топлоту како би се спречило прегревање плочице.

▪ Јака отпорност на корозију: У стању да се одупре ерозији разним корозивним гасовима и плазмом.

Параметар перформанси	семицера	СГЛ Р6510	Параметар перформанси
Запреминска густина (г/цм3)	1.91	1.83	1.85
Чврстоћа на савијање (МПа)	63	60	49
Чврстоћа на притисак (МПа)	135	130	103
Тврдоћа по Шору (ХС)	70	64	60
Коефицијент топлотног ширења (10-6/К)	85	105	130
Коефицијент топлотног ширења (10-6/К)	5.85	4.2	5.0
Отпорност (μΩм)	11-13	13	10

Предности избора нас:
▪ Избор материјала: Графитни материјали високе чистоће се користе да би се осигурао квалитет производа.
▪ Технологија обраде: Изостатичко пресовање се користи да би се обезбедила густина и уједначеност производа.
▪ Прилагођавање величине: Графитни чамци различитих величина и облика могу се прилагодити према потребама купаца.
▪ Површинска обрада: Обезбеђене су различите методе површинске обраде, као што је облагање силицијум карбидом, бор нитридом, итд., како би се испунили различити захтеви процеса.