СиЦ носач/сусцептор високе чистоће

Истакнута слика СиЦ носача/сусцептора високе чистоће

Кратак опис:

Носиви диск од силицијум карбида је такође познат као СИЦ лежиште, диск за гравирање од силицијум карбида, диск за гравирање ИЦП. Посуда од силицијум карбида за ЛЕД нагризање (СиЦ траи) φ600мм је посебан додатак за дубоко силиконско гравирање (ИЦП машина за гравирање).

Пошаљите нам емаил

Детаљи о производу

Ознаке производа

Опис

Керамика од силицијум карбида има одличне механичке особине на собној температури, као што су висока чврстоћа, висока тврдоћа, високи модул еластичности, итд., Такође има одличну стабилност при високим температурама као што је висока топлотна проводљивост, низак коефицијент топлотног ширења и добра специфична крутост и оптички перформансе обраде.
Посебно су погодни за производњу прецизних керамичких делова за опрему са интегрисаним колама као што су машине за литографију, које се углавном користе за производњу СиЦ носача/сцептора, СиЦ чамца за плочице, усисног диска, плоче за хлађење водом, рефлектора за прецизно мерење, решетке и других керамичких структурних делова

носилац2

носилац3

носилац4

Предности

Отпорност на високе температуре: нормална употреба на 1800 ℃
Висока топлотна проводљивост: еквивалентна графитном материјалу
Висока тврдоћа: тврдоћа друга након дијаманта, бор нитрида
Отпорност на корозију: јаке киселине и алкалије немају корозију, отпорност на корозију је боља од волфрам карбида и глинице
Мала тежина: мала густина, близу алуминијума
Без деформације: низак коефицијент топлотног ширења
Отпорност на топлотни удар: може да издржи оштре промене температуре, одоли топлотном удару и има стабилне перформансе
Носачи од силицијум карбида, као што су носачи за јеткање, ИЦП суцептор за јеткање, широко се користе у полупроводничким ЦВД-има, вакуумском распршивању итд. Купцима можемо пружити прилагођене носаче плочица од силицијум и силицијум карбидних материјала за различите примене.

Предности

Имовина	Валуе	Метод
Густина	3,21 г/цц	Умиваоник-пловка и димензија
Специфична топлота	0,66 Ј/г °К	Пулсни ласерски блиц
Чврстоћа на савијање	450 МПа560 МПа	4 тачке кривине, РТ4 тачке кривине, 1300°
Чврстоћа лома	2,94 МПа м1/2	Микроиндентација
Тврдоћа	2800	Вицкер'с, оптерећење од 500 г
Модул еластичности Иоунгов модул	450 ГПа430 ГПа	4 пт кривина, РТ4 пт кривина, 1300 °Ц
Величина зрна	2 – 10 µм	СЕМ

Профил компаније

ВеиТаи Енерги Тецхнологи Цо., Лтд. је водећи добављач напредне полупроводничке керамике и једини произвођач у Кини који истовремено може да обезбеди силицијум карбидну керамику високе чистоће (посебно рекристализовани СиЦ) и ЦВД СиЦ премаз. Поред тога, наша компанија је такође посвећена керамичким пољима као што су глиница, алуминијум нитрид, цирконијум и силицијум нитрид, итд.

Наши главни производи укључују: диск за гравирање од силицијум карбида, вучу за чамце од силицијум карбида, чамац од силицијум карбида (фотонапонска и полупроводничка), цев за пећ од силицијум карбида, конзолну лопатицу од силицијум карбида, стезне главе од силицијум карбида, силицијум карбидну греду и силицијум карбидну греду као и ЦД, премазивање. Производи који се углавном користе у полупроводничкој и фотонапонској индустрији, као што су опрема за раст кристала, епитаксија, јеткање, паковање, пећи за облагање и дифузију итд.
о (2)