Увод у превлаку од силицијум карбида
СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ ЦОАТИНГнаноси се у танким слојевима на разним подлогама кроз процес ЦВД-а, нудећи врхунске карактеристике перформанси.
Кључне карактеристике
● - Експертна чистоћа: Са ултра чистом композицијом99,99995%, нашеСички премазминимизира ризик од контаминације у осетљивим полупроводничким операцијама.
● -Супериорна отпорност: Показује одличну отпорност и на хабање и на корозију, што га чини савршеним за изазовна подешавања хемикалија и плазме.
● -Висока топлотна проводљивост: Осигурава поуздане перформансе под екстремним температурама због његових изванредних топлотних својстава.
● -Димензиона стабилност: Одржава структурни интегритет у широком распону температура, захваљујући свом ниском коефицијенту термичке експанзије.
● -Побољшана тврдоћа: Са оценом тврдоће од40 ГПа, наш СИЦ премаз издржи значајан утицај и абразију.
● -Глатка површина: Обезбеђује огледало слично, смањујући стварање честица и унапређење оперативне ефикасности.
Апликације
Семицера Сиц премази
● -Израда ЛЕД чипова
● -Производња полисилицијума
● -Раст кристала полупроводника
● -СИЛИЦОН И СИЦ ЕПИТАКСИЈА
● -Термичка оксидација и дифузија (ТО&Д)
.
Предности
● -Продужени животни век: Значајно смањује прекид рада и трошкове одржавања опреме, унапређење укупне ефикасности производње.
● -импроливан квалитет: Постижава површине високог чистоће потребне за обраду полуводича, чиме се повећавају квалитет производа.
● -Повећана ефикасност: Оптимизује термичке и ЦВД процесе, што резултира краћим временима циклуса и већим приносима.
Техничке спецификације
● - Грађевинарство: ФЦЦ β фаза поликристалан, углавном (111) оријентисана
● -Густина: 3,21 г/цм³
● -Тврдоћа: 2500 Тврдоћа Вицкес (500г оптерећење)
● -Пректурална жилавост: 3,0 МПа·м1/2
● -Коефицијент термичке експанзије (100–600 °Ц): 4.3 к 10-6k-1
● -Модул еластичности(1300℃):435 ГПа
● -Типична дебљина филма:100 µм
● -Сурфаце храпавост:2-10 µм
Подаци о чистоћи (мерени сјајним масеним масеним спектроскопијем)
| Елемент | ппм | Елемент | ппм |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | <0,05 |
| Ал | <0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | <0,05 |
| S | <0,04 | As | < 0,005 |
| K | <0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | <0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | <0,05 |
| Cr | <0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | <0,05 | Bi | <0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
