4-инчни СиЦ супстрат Н-тип

Истакнута слика Н-типа СиЦ супстрата од 4 инча

Кратак опис:

Семицера нуди широк спектар 4Х-8Х СиЦ плочица. Дуги низ година смо произвођач и добављач производа за полупроводничку и фотонапонску индустрију. Наши главни производи укључују: плоче за гравирање од силицијум карбида, приколице за чамце од силицијум карбида, чамце од силицијум карбида (ПВ & Семицондуцтор), цеви за пећи од силицијум карбида, конзолне лопатице од силицијум карбида, стезне главе од силицијум карбида, греде од силицијум карбида и ЦВД премаз ТаЦ премази. Покрива већину европских и америчких тржишта. Радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљите нам емаил

Детаљи о производу

Ознаке производа

Монокристални материјал силицијум карбида (СиЦ) има велику ширину појаса (~Си 3 пута), високу топлотну проводљивост (~Си 3,3 пута или ГаАс 10 пута), високу стопу миграције засићења електронима (~Си 2,5 пута), висок електрични пробој. поље (~Си 10 пута или ГаАс 5 пута) и друге изванредне карактеристике.

Семицера енерги може да обезбеди купцима висококвалитетне проводне (проводне), полуизолационе (полуизолационе), ХПСИ (полуизолационе високе чистоће) подлоге од силицијум карбида; Поред тога, можемо да обезбедимо купцима хомогене и хетерогене епитаксијалне плоче од силицијум карбида; Такође можемо прилагодити епитаксијални лист према специфичним потребама купаца, а не постоји минимална количина поруџбине.

Предмети	Производња	Истраживања	Думми
Цристал Параметерс
Политипе	4H
Грешка у оријентацији површине	<11-20 >4±0,15°
Елецтрицал Параметерс
Допант	н-тип азота
Отпорност	0,015-0,025 охм·цм
Мецханицал Параметерс
Пречник	99,5 - 100 мм
Дебљина	350±25 μм
Примарна равна оријентација	[1-100]±5°
Примарна равна дужина	32,5±1,5 мм
Секундарни равни положај	90° ЦВ од примарног равног ±5°. силицијум лицем нагоре
Секундарна равна дужина	18±1.5мм
ТТВ	≤5 μм	≤10 μм	≤20 μм
ЛТВ	≤2 μм (5мм*5мм)	≤5 μм (5мм*5мм)	NA
Бов	-15μм ~ 15μм	-35μм ~ 35μм	-45μм ~ 45μм
Варп	≤20 μм	≤45 μм	≤50 μм
Предња (Си-фаце) храпавост (АФМ)	Ра≤0,2нм (5μм*5μм)
Структура
Густина микропипе	≤1 еа/цм2	≤5 еа/цм2	≤10 еа/цм2
Металне нечистоће	≤5Е10атома/цм2		NA
БПД	≤1500 еа/цм2	≤3000 еа/цм2	NA
ТСД	≤500 еа/цм2	≤1000 еа/цм2	NA
Фронт Куалити
Фронт	Si
Завршна обрада	Си-фаце ЦМП
Честице	≤60еа/вафер (величина≥0,3μм)	NA
Огреботине	≤2еа/мм. Кумулативна дужина ≤Пречник	Кумулативна дужина≤2*Пречник	NA
Наранџина кора/рупице/мрље/пруге/пукотине/загађење	Ниједан		NA
Ивичне струготине / удубљења / фрактуре / хексадецималне плоче	Ниједан		NA
Политипске области	Ниједан	Кумулативна површина≤20%	Кумулативна површина≤30%
Предње ласерско обележавање	Ниједан
Бацк Куалити
Задњи завршетак	Ц-фаце ЦМП
Огреботине	≤5еа/мм, кумулативна дужина≤2*Пречник	NA
Дефекти на полеђини (ивичњаци/удубљења)	Ниједан
Храпавост леђа	Ра≤0,2нм (5μм*5μм)
Ласерско обележавање леђа	1 мм (од горње ивице)
Едге
Едге	Цхамфер
Паковање
Паковање	Унутрашња врећа је напуњена азотом, а спољна врећа се усисава. Мулти-вафер касета, епи-реади.
*Напомене: „НА“ значи да нема захтева Ставке које нису поменуте могу се односити на СЕМИ-СТД.