СиЦ плоча је врста керамике густог тела 0 порозности, која је заснована на СиЦ и синтерована на 2250 ℃.Садржај СиЦ је више од 99,6%, снага савијања је већа од 410мпа, а топлотна проводљивост је 140В / МК, то је једини керамички материјал отпоран на ХФ, Х2СО4 и другу јаку киселинску корозију.
Предности силицијум карбидне керамике:
1, коефицијент топлотног ширења је мали, веома близу силицијуму;
2, одлична отпорност на хабање, тврдоћа друга након дијаманта;
3, одлична топлотна проводљивост, отпорност на високе температуре и брзо расипање топлоте;
![Стезна глава од силицијум карбида 3](http://www.semi-cera.com/uploads/Silicon-carbide-chuck3.png)
Технички параметри
![图片1](http://www.semi-cera.com/uploads/15a6ba392.png)
-
Прилагођено реакцијско синтеровање рези ...
-
Опрема за ласерско микромлазно сечење (ЛМЈ) може бити у...
-
Полупроводнички чамац од силицијум карбида може бити...
-
Полупроводничка изолација од алуминијума високе чистоће ри...
-
Први део - СиЦ епитаксијална опрема...
-
Полупроводничка микропорозна керамичка вакуумска глава ...